Microscopie

Appareillages

• AFM-STM (Autoproble CP Research Veeco) - UM2, Bât.15, 2ème ét. - B. Rebière
• MEB (Hitachi S2600N) - UM2, Bât.15, RDC - A. Bilot
• MEB (Hitachi S-4500I) - IEMM, D. Cot & B. Rebière
• MEB (Hitachi S-4800) - IEMM, D. Cot

Techniques

Microscopie à Force Atomique

 Autoproble CP Research Veeco

• Mode contact, non contact et tapping
• Balayage par scanner piézoélectrique 5 mm x 5 mm et champ large 90 µm x 90 µm
• Résolution : 1 nm en mode contact et 2 nm en mode non contact
• Déplacement vertical : jusqu’à 8 µm
• Logiciel de pilotage et d’acquisition : ProScan, WSxM

Microscopie Electronique à Balayage

 Hitachi S2600N à pression variable

• Emission thermoélectronique
• Détecteur d’électrons secondaires et rétrodiffusés
• Tension d’accélération : 0.5 à 30 kV
• Grandissement : x 15 à x 300 000
• Résolution : 3,5 nm à 15 kV
• Pression variable

 Hitachi S4500 I

• Emission à effet de champ
• Détecteur d’électrons secondaires et rétrodiffusés
• Tension d’accélération : 0.5 à 30 kV
• Grandissement : x5 à x800.000
• Résolution : 1,5 nm à 15 kV
• Analyse par EDS : spectres, profils de concentration, cartographies

 Hitachi S4800 Haute résolution

• Emission à effet de champ
• Détecteur d’électrons secondaires et rétrodiffusés
• Tension d’accélération : de 0,1 kV à 30 kV
• Grandissement : x20 à x800.000
• Haute résolution : 1 nm à 15 kV
• Mode transmission (30 kV)