Spectroscopie de photoélectrons XPS

Animateur scientifique : Hubert Mutin (tél. 04 67 14 4943)
Responsable technique : Valérie Flaud (tél. 04 67 14 4296 / 3971)

Localisation : UM2 Bât. 17 sous-sol

Appareillages

Description et caractéristiques techniques :

Sources X :
- Twin anode Mg (1253.6 eV), Al (1486.6 eV) sans monochromateur.
- Monochromateur source Al (1486.6 eV).
Analyseur hémisphérique : résolution ± 0,2 eV.
Canon à ion EXO5 pour le décapage ionique et profil de concentration.
Canon à électrons (compensation de charge) pour l’analyse d’isolants.
Vide limite : 10E-10 mbar, pompe turbo moléculaire avec sublimateur Titane.
Surface analysée : 20µm à quelques mm.

Type d’analyse :

Élémentaire qualitative et quantitative (sensibilité : 0.1 % atomique).
Identification des contributions chimiques (résolution en énergie (FWHM) : 0.48 eV, avec la source mono).
Analyse angulaire.
Profil de concentration par abrasion ionique.
Imagerie X – cartographie chimique.