Spectroscopie de photoélectrons XPS

Appareillage

• ESCALAB 250 Thermo Electron

Description et caractéristiques techniques :

 Sources X :

• Twin anode Mg (1253.6 eV), Al (1486.6 eV) sans monochromateur.
• Monochromateur source Al (1486.6 eV).
• Analyseur hémisphérique : résolution ± 0,2 eV.
• Canon à ion EXO5 pour le décapage ionique et profil de concentration.
• Canon à électrons (compensation de charge) pour l’analyse d’isolants.
• Vide limite : 10E-10 mbar, pompe turbo moléculaire avec sublimateur Titane.
• Surface analysée : 20µm à quelques mm.

Type d’analyse :

• Élémentaire qualitative et quantitative (sensibilité : 0.1 % atomique).
• Identification des contributions chimiques (résolution en énergie (FWHM) : 0.48 eV, avec la source mono).
• Analyse angulaire.
• Profil de concentration par abrasion ionique.
• Imagerie X – cartographie chimique.